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Industrie News
Neue Idee, neue Geräte und neue Technologien für die Modernisierung der Magnetron Sputtern Beschichtungsanlagen
Nov 08, 2016

Zur Zeit der Modernisierung der traditionellen Industrien geworden Countryand #39; s strategische Entscheidungsfindung, Regierungen auf allen Ebenen eingeführt worden, oder soll eine Vielzahl von Finanzierungspolitiken vorzustellen. In diesem Umfeld wird die Website weiterhin eine Reihe von Vakuumanwendung Geräte-Upgrade-Programm für die Userand #39; s Referenz. Dieser Beitrag konzentriert sich auf die neue Wege und Strategien für den Ausbau des MagnetronsSputtern und kathodischen Bogens BeschichtungAusrüstung.


In der Vakuumbeschichtung Ausstattung ist das Hintergrund-Vakuum und die Rate der Deflation die zwei wichtigsten Konzepte von Qualität. Der Hintergrund des Vakuums ist intuitiv, einfach zu messen, sowie historische Gründe, Benutzer haben und die Qualität des Vakuums gleichwertige gewöhnt. In der Tat das Hintergrund-Vakuum spiegelt die Idee, die Vakuumkammer ist die Essenz von Vakuum Qualität. In vielen Fällen wird das Ende des Vakuums den Benutzer, unsachgemäße Verwendung von Pumpen Prozess führt in die Irre führen, reduzieren Produktqualität und eine Reihe von Problemen.


Es ist bekannt, dassVakuumbeschichtungkönnen grob in zwei Kategorien unterteilt werden: hohe Vakuumbeschichtung (z. B. Verdunstung Beschichtung) und Vakuum-Beschichtung in der Arbeitsumgebung Gas (z. B. das Magnetron-Sputtern und kathodischen Bogens Beschichtung).


Der ehemalige und der Boden der Vakuumbeschichtung Umwelt ist im Grunde das gleiche, geprägt von der Basisdruck für die Vakuum-Qualität kein Problem ist, aber diese Art von Beschichtungsanlagen, in der Regel eine große Menge (etwa ein paar Meter 3), der Hauptpumpe weit verbreitet ist in Zehntausenden von L/s Saugvermögen der Diffusion Ölpumpe verwendet, das Hauptproblem ist hohen Energieverbrauch und schwere Verschmutzung des Öls Dampf zwei Problemen , die entsprechenden Gegenmaßnahmen diskutiert werden, in einem anderen Papier.

Letzteres, Beschichtung der Basisdruck höher als der Druck von zehn bis hundert Mal, beschichtet mit dem base Vakuum Vakuum unterschiedlich, und bei der Auswahl der Vakuumpumpe und Pumpen Prozess, oft produzieren Fehler und Missverständnisse, der Schwerpunkt in diesem Artikel diskutiert werden.


Vor der Diskussion klar die erste die folgenden grundlegenden Fragen:


1 der Druck der Vakuumkammer Q ist proportional zur Menge des S in der Vakuumkammer und ist umgekehrt proportional zur tatsächlichen Saugvermögen der Vakuumpumpe Arbeitsbedingung, d. h. P.

Q / S P = 1


2 Beschichtung Phase des aktiven Gasdruck (vor allem Wasserdampf) ist der Schlüssel zum Einfluss auf die Qualität der Beschichtung, Beschichtungsanlagen ist das Vakuum Qualität der materiellen Indikatoren.


3 für die Vakuumkammer ohne sorgfältig backen, oft ausgesetzt, die Atmosphäre, der Druck im unteren Teil der aktiven Gas einen Anteil von mehr als 90 %.


Die Messergebnisse zeigen, dass der untere Druck, Pumpen Gas für eine halbe Stunde, etwa 90 % des Wasserdampfes, kann Pumpen 1 Stunde(n), ca. 95 % des Wasserdampfes, daher der Beschichtungskammer (einschließlich das Werkstück) Freisetzung des Gases alle aktiven Gas betrachtet werden.


4 Wesen ist es, die Natur der Beschichtungskammer der Gas-Rate zu reduzieren, das Ende der feinen Förderrate in die Beschichtung Phase gebracht werden. Es ist ein sehr Andquot; Puzzlingandquot; Folgerung: das effektive Saugvermögen der Vakuumpumpe 3000L/s, die geringe Rauch bis 8 * 10-3 Pa, die Vakuumpumpe zeichnen Qualität und effiziente Pumpen Geschwindigkeit 1500L/s, das Ende gepumpt, um 1,6 * 10-2 Pa die gleichen, nämlich präzise pumpende Phase durch das Vakuum Pumpen zu beschleunigen, je kleiner die Basis Vakuum ermöglicht die Armen!


Die Messergebnisse zeigen, dass: die zwei Arten von Pumpen, die gleiche Gas-Rate der Beschichtungskammer um sputter-Beschichtung, die erforderliche Zeit zu Pumpen erforderlich ist ungefähr das gleiche, letzteres nur um 5 Minuten erhöht. In den Wiederaufbau-Plan die Zeit der rauhen Pumpen Phase 5 Minuten eingespart werden, d. h. der Beschichtung-Zyklus ist unverändert.


5 x 1, und die Aktivität der Beschichtung Gas-Partialdruck an der Unterseite der Ausgasung Rate ist proportional zum Kehrwert der Beschichtung und schnell Pumpen Bühne.


6 für die Beschichtung von Pumpen Geschwindigkeit und Präzision Pumpen Bühne die gleichen Situationen (z. B. Verdunstung), um 1 Stufe reaktives Gas Phase Beschichtung und Partialdruck den gleichen Druck in den Boden zu ziehen, damit der untere Druck verwendet werden kann, um die Qualität der Vakuumbeschichtung Ausrüstung zu charakterisieren.


7 für verschiedene Anlässe in der Beschichtung, der aktiven Gasdruck in der Beschichtung Stufe unterscheidet sich von den Bodendruck, d. h. die Vakuum Qualität kann nicht durch das Hintergrund-Vakuum charakterisiert werden.

In der 8 Phase des Magnetron-Sputtern (normalerweise 0.5Pa), Diffusionspumpe (muss hinzugefügt werden das Drosselventil) und das Saugvermögen wird nur der Nennwert der 1/6 ~ 1/5, die Molekularpumpe Geschwindigkeit für den Nennwert von 50 ~ 70 %, so dass der Beschichtungstätigkeit Gas Partialdruck waren 5 ~ 6 Mal und 1.5 ~ 2 Mal von der Bodendruck. Molekularpumpe Betrieb unter hohem Druck, aber auch anfällig für eine gefährliche spielen.


9 Schlussfolgerung: die Verwendung von Beschichtung Phase Geschwindigkeit große Vakuum-Pumpe pumpt, feine Pumpen Phase der untere Druck höher sein kann, oder das Saugvermögen der das Saugvermögen kann geringer sein.


Zu verbessern. Es ist ersichtlich, dass der untere Druck als ein Vakuum Qualitätsindikator ein großes Missverständnis ist. Begründet kann die Verdunstung der Beschichtung im ehemaligen, das Magnetron-Sputtern und Peopleand #39; s Gewohnheit des Denkens.


8 ist die wirkungsvolle Maßnahme, um die Menge der Luft in der Vakuumkammer zu verringern nicht das Saugvermögen der Pumpe zu erhöhen, sondern um die Pumpen zu verlängern.


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